美国模拟器件（Analog Devices）开发出了基于MEMS技术的振动传感器。可用于在工厂等检测制造装置发生的振动异常等用途。可检测出从直流到22kHz的大频率范围的振动。1000个批量购买时的单价为35美元，在大多以低价格取胜的MEMS元件中，定价较高。

该公司表示，目前市售的振动传感器最高只能检测最高到5kHz频率的振动。而此次的产品能够检测更高频率的振动，可尽早发现电机的异常振动。该公司将为客户提供可防止“制造及检查装置停转造成的数十万美元损失”的附加值，并以此来开拓高附加值MEMS元件市场。该元件采用5mm见方的LCC陶瓷封装，工作温度范围为－40～125℃。